半导体车间无尘行车，也称为洁净室天车、无尘天车或洁净室起重机，是专为半导体制造等高洁净环境设计的精密物料搬运设备。它对于维持洁净室标准、保障生产效率和产品良率至关重要。
一、关键特性
防尘与防静电设计：行车轨道和吊具常采用不锈钢或特殊涂层处理，减少摩擦产生的微粒。设备接地良好，部分高端型号配备离子风装置，中和静电，避免静电吸附尘埃。
高精度定位：搭载伺服电机和编码器，运输精度可精确到毫米级，部分设备支持自动化控制系统，能与车间 MES 系统联动，实现自动化搬运路径规划与实时监控。
低振动与低噪音：采用变频驱动技术和减震结构，运行噪音通常低于 60 分贝，振动幅度控制在 5 微米以内，防止干扰精密设备。
易清洁结构：设备表面光滑无死角，多采用无螺栓拼接设计，方便用超纯水或异丙醇擦拭，便于清洁维护，保持车间洁净度。
二、典型应用场景
1、半导体制造
搬运晶圆、光刻胶、硅片等精密材料，确保在清洗、刻蚀等工艺中不引入污染。
支持超大规模集成电路（VLSI）的精细搬运，精度达微米级。
2、液晶面板与生物医药
运输玻璃基板、偏光片及无菌药品，满足高洁净度与无菌要求。
在生物医药领域，用于无菌环境下药品、试剂的精准投放。
3、精密电子与光学
搬运摄像头模组、微型元器件及光学镜头，避免机械损伤与污染。
三、总结
半导体车间的无尘行车远非普通的起重设备，它是保障芯片制造高良率、高可靠性和生产安全的关键支持系统。其特殊的设计确保了在极度洁净的环境中进行精密、稳定、无污染的物料搬运。
