从大的方面来讲,光伏新能源硅晶片生产包括硅单晶棒生产和光伏新能源硅晶片生产两大部分,细分为以下几道主要工序:
单晶棒生长-单晶棒裁切和检测-外径磨削-切片-倒角(圆边)-研磨/研磨片检查-蚀刻(化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺)-PTA热处理-背面损伤处理-抛光(ML粗抛、ML精抛)-洗净-品质检查-洁净包装
从单晶棒生长到外径磨削为硅单晶棒生产工序,切片以后的流程为光伏新能源硅晶片生产工序。下面以某日资硅片厂为例,介绍光伏新能源硅晶片生产工序的空调净化系统和自控系统的设计方案。

